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大深宽比细微结构元件
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大深宽比微细结构元件
SU-8光刻胶是非硅材料MEMS制造以及电铸模所用的首选光刻胶。得益于SU-8光刻胶本身良好的力学性能,其甚至可直接被用作微机械器件。我公司开发的SU-8光刻胶结构深宽比可达20:1。 随着大规模集成电路技术和微机械技术的发展,越来越多的器件要求高深宽比的微细结构。我公司开发的深硅刻蚀技术,能够实现深宽比优于10:1的微细结构。
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光栅
光栅是可以使入射光的振幅或相位(或两者同时)受到周期性空间调制的光学元件。只能使光受到振幅调制或相位调制的光栅,分别称为振幅光栅和相位光栅。按工作方式分,光栅又可分为透射光栅(透射光受调制)和反射光栅(反射光受调制)。光栅每单位长度内的刻痕多少,主要决定于所分光的波长范围,单位长度内的刻痕多,色散度越大。光栅的分辨本领决定于刻痕多少。我公司具备常见光栅的生产能力,并能提供最大面积为400mm×400mm,4μm单元阵列的超大口径平面光栅。
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超表面透镜
超表面透镜利用光照射到亚波长散射体时相位会发生非连续变化的特点,通过对散射体进行人工设计及制备,精确控制每个单元的结构来控制光的相位,从而实现使光汇聚到一点的功能。
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光束整形器
光束整形器的分类光束整形器又称为激光整形器,是衍射光学元件中最常用的透镜。光束整形器的作用是把激光光束转化为一个能量均匀分布的平顶光斑,光斑形状可以是正方形,圆形,或其他所需形状。
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衍射光束分束器
用于对激光光束的分光,通过对入射光束的位相调制,可形成特定分布的激光光束,应用于激光测距、高功率激光检测、医疗等领域
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衍射扩束器
衍射扩束器可以扩大或缩小衍射激光光斑的图形,并设定衍射光学元件输出的放大倍数。
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定制化
公司提供衍射光学元件相关产品的设计、加工以及测试等相关服务,欢迎联系我们进一步咨询。
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